Гүйцэтгэл ба бүтцийн үндсэн шинж чанарууд:
1. Талбайн нягтрал хэмжигч ба өлгүүр нь хаалттай хүрд хяналтыг үүсгэж болно.
2. Хэмжээ илрүүлэх хаалттай хүрд удирдлагатай CCD систем.
3.Хаягдал дээр төгсгөлийн тууз наах.
4. Давхар давхаргын зутанг субстратын нэг тал дээр түрхэж болно.
5. MES системтэй хамтран ажиллаж, тоног төхөөрөмжийн үүлний хяналтыг удирдана.

Чанарын хяналт ба санал хүсэлт:
1.Онлайн илрүүлэх зориулалттай X/B туяа дахь талбайн нягтын тоолуур.
2. Хэмжээ болон согогийг илрүүлэх CCD систем.
3.NG тэмдэг бэхэн хэвлэх.
4. Зуухны доторх электродын гадаргуу дээрх IR-ээр температурыг хэмжих.
5. Масс урсгал хэмжигч нь урсгал, зуурамтгай чанар, температурыг онлайнаар хянадаг.
6.Катодын зуухны NMP концентрацийн хяналт, анодын зуухны чийгшил илрүүлэх.